技术方案

Technical scheme

在研项目 解决案例

氧化技术

链式退火技术研发的目标是应用于SE-PERC电池生产的背面抛光工序。

1.激光SE掺杂后在硅片表面用链式氧化技术生长的氧化层,可在背面碱抛时实现良好正面保护效果;

2.相较管式热氧化工艺,可大幅生产便捷性并且降低成本。


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